led清洗设备-全自动SPM清洗设备-kzone(晶洲)
适用于:2-6英寸晶圆清洗
产品规格
控制模式:全自动控制
整机尺寸:2500mm(L)X1950mm(W)X2100mm(H)
工件:2-6寸晶圆
产能:25片/槽 可按客户产能需求设计
操作高度:850±50mm
电源:380V 三相五线制,50HZ,14KW
设备特点:
1.led清洗设备骨架为SUS304外包3mmPP,外壳采用进口象牙白PVC板热熔焊接;
2. led清洗设备采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制;
3. led清洗设备槽体设置温度、液位监控制装置;
4. led清洗设备药液槽配透明槽盖,有效防止药液挥发,污染;
5.led清洗设备清洗区域高效过滤器,无二次污染机会;
6.led清洗设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护,防腐防水;
7.led清洗设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘,有效防止设备漏液损害厂务地板;
8.led清洗设备的机械臂手采用直线滑块导向,反向安装,减少油及粉尘污染且便于维护;
9.用户操作人员上料后,全过程自动化控制,减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点。
10.led清洗设备安全性能高,设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计,确保人身和厂务安全;
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