1~3轴气浮平移台

1~3轴气浮平移台

我公司的气浮平移台产品，一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光栅精度。
也可提供双频激光反馈控制，稳定精度可达20nm，有成功案例。
采取隔尘措施后，可应用于高精度生产场合。
可提供超长行程单轴工作台。
也可采用音圈电机、高精度丝杠配合我们独创的5自由度气浮联轴器，驱动工作台。
平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。

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